日本TOHO公司生产的FLX系列薄膜应力量测设备，主要用于半导体行业薄膜应力的量测。该设备采用双光源扫描技术，内置温度调节系统，能模拟不同温度下的薄膜应力。设备具备3D绘图功能和材料弹性系数数据库，支持多种样品尺寸和气体类型，提供高精度的测量 ...