Plasma-Therm是一家专注于PECVD、HDPCVD、RIE、ICP、DSE等设备的世界知名制造商，拥有近40年的研发和制造经验。其产品涵盖2"至12"晶圆尺寸，适用于半导体、MEMS、三五族材料、LED、SOI及TSV等领域。Plasma-Therm设备以其高稳定性和可靠性著称，提供手动、半自动和全自动 ...