本文比较了刀片划片与激光划片两种技术，重点介绍了激光划片的优势，包括更高的切割速度（高达800 mm/s）、更窄的切割宽度（35 ~ 50 μm）、更好的切割质量以及更低的维护成本。激光划片设备配备了晶圆自动定位系统、高精度平移台及简易用户界面，并支持 ...