本文报道了一种基于聚焦离子束（FIB）系统的非破坏性、高效率单离子植入事件检测方法。研究团队通过引入可控厚度的SiO2覆盖层，显著提升了锑（Sb）离子注入硅衬底时的二次电子（SE）产额，使单离子检测效率（DE）最高达到98±1%。该方法无需预制备器件结构 ...

铌基合金的抗氧化性能不足是它们在实际使用条件下面临的主要挑战。由于不同类型铌基合金在成分、相组成和微观结构上的差异，其涂层的结构和抗氧化行为可能会有显著差异。因此，研究不同基底上硅化物涂层的形成过程和抗氧化性能对于开发适用于各种铌 ...