本文报道了一种利用化学修饰的二维DNA模板通过单次图案转移实现三维纳米图案制备的创新方法。研究团队通过链霉亲和素修饰三角形DNA折纸结构，在HF蒸气蚀刻SiO2过程中实现了深度超过28纳米、宽度22纳米的负性三角图案。该技术通过局部调控蚀刻对比度，为 ...

本文报道了一种基于聚焦离子束（FIB）系统的非破坏性、高效率单离子植入事件检测方法。研究团队通过引入可控厚度的SiO2覆盖层，显著提升了锑（Sb）离子注入硅衬底时的二次电子（SE）产额，使单离子检测效率（DE）最高达到98±1%。该方法无需预制备器件结构 ...

ProCeas®氟化氢（HF）分析仪是一款专为大气和洁净空间环境中低本底HF测量设计的高精度红外激光光谱气体分析仪。基于光反馈腔增强吸收光谱（OF-CEAS）技术，具备低检测限（0.015 ppb）、高精度及稳定性，适用于化工园区、铝厂、半导体工业等多种场景的实时 ...

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