TOPCon 电池技术 ，是 2014 年由德国 Fraunhofer 太阳能研究所提出的一种新型钝化接触太阳能电池。德国 Fraunhofer 研究中心在电池背面利用化学方法制备一层超薄氧化硅( ～1．5nm) ，然后再沉积一层掺杂多晶硅，二者共同形成了钝化接触结构，这种技术被称为隧穿氧化 ...

光波导可以用在很多领域，VR眼睛、光纤分路器等等，而采用PECVD是一种常用且容易控制参数的工艺手段。 PECVD是利用辉光放电产生的非平衡等离子体激活反应气体，使之电离，从而获得离子、原子和大量的活性基团，并发生化学反应，在衬底上沉积薄膜。

本研究针对半导体器件中铜(Cu)与介电薄膜界面剥离这一关键可靠性问题，采用激光剥离(LS)测试技术定量评估了Cu与三种硅基介电材料(PECVD SiO2 、PECVD SiNx 和LPCVD SiNx )的界面强度。通过精确校准激光脉冲产生的压缩应力波，结合波传播模拟和多种表征技术，发现 ...

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