PlasmaPro 100 PECVD系统专为PECVD工艺设计,旨在生产高性能薄膜,具备高沉积速率、低颗粒生成和优异的均匀性。该系统采用双频射频供电喷淋头,支持宽温度范围,兼容多种晶圆尺寸,并提供出色的衬底温度控制和工艺灵活性。适用于高质量PECVD沉积,如氮化硅和 ...
产品优势:高强度和稳定性:碳碳PECVD炉承载板通常由碳材料制成,具有很高的强度和稳定性,能够承受高温和化学反应的影响,保证在整个PECVD过程中的稳定性和可靠性。良好的热传导性:碳材料的热传导性良好,这有助于在PECVD过程中保持材料的温度一致 ...
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快科技12月18日消息,据报道,中电科电子装备集团下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟PECVD设备,近日成功发货。 在光伏电池的生产流程中,PECVD镀膜技术扮演着至关重要的角色。然而,当前市场上的常规PECVD设备面临着同质化竞争严重、性能差异细微 ...
记者12月17日从中电科电子装备集团获悉,该集团下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟PECVD设备,近日成功发货。 作为光伏电池制备的一大重要工序,常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈,主流设备各方面性能大同小异,急需高产能、低成本、高稳定性 ...
11月1日,北方华创发文称,近日其自主研发的高均匀性、大产能12英寸等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备——Cygnus系列,已成功交付客户。这一里程碑标志着北方华创在半导体设备制造领域的又一重大突破,进一步巩固了其在薄膜沉积技术的领先地位。
报告对PECVD行业的过去五年市场规模和增长率进行了详尽统计,并预测了未来的发展前景。数据显示,2023年全球和中国PECVD市场规模分别达到 亿元和 亿元。基于市场增长模式,报告预测全球PECVD市场将以 %的年复合增长率增长,到2029年达到 亿元。 中国PECVD行业内 ...
在全球可再生能源快速发展的背景下,光伏电池片的制造技术正不断演进,其中LPCVD(低压力化学气相沉积)和PECVD(等离子体增强化学气相沉积)作为两种重要的薄膜沉积技术,正逐渐引领行业向更高效和高性能的方向发展。这两种技术因其独特的沉积特点而在 ...
1.在真空条件下,通过射频放电,让气体活化发生化学反应,在基板表面沉积形成薄膜。 2.成膜种类:SiO2,SiNx ,SiON。等离子增强型,膜质好,均匀性高,Load-lock,托盘式,多基板尺寸,2inch-8inch 兼容 ...
青岛益嘉元科贸有限公司是专业经营各类进口机械设备,仪器仪表及各种配件的一站式进口产品综合服务商. 优秀的产品和完善的服务是我司努力的目标,希望能为客户提供更好的选择. 我司主要代理BACHARACH卤素检漏仪H25-IR,冷媒回收机,冷媒分析仪;爱发科ULVAC-氦质谱 ...
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