#multiphysics #elmerfem #paraview #mems | Christophe Yamahata (Ph.D., M.Sc., PMP®)
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This classic MEMS electrothermal actuator features an asymmetric U-shaped design with a narrow “hot” arm and a wider “cold” arm connected in series. When electric current is applied, Joule heating produces more heat in the narrow arm, causing greater thermal expansion and resulting in in-plane deflection toward the cold arm side ...
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